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Microfoni MEMS: tecnologia, circuiti e analisi di mercato
Marcello Vertuan - Department of Industrial Engineering, University of Padova
I microfoni MEMS entrano nel mercato all’inizio del XXI secolo quando, la continua ricerca nella riduzione delle dimensioni dei dispositivi, ne ha reso necessario l’utilizzo. Questa tecnologia si basa sulla realizzazione, in un unico chip, della struttura meccanica del sensore e di tutta l’elettronica di controllo. Il primo capitolo descrive alcuni metodi di realizzazione della struttura del sensore, nel caso di un microfono capacitivo, piezoelettrico e piezoresistivo. La parte riguardante l’elettronica di controllo, soprattutto per quanto riguarda lo stadio buffer, viene presentata nel capitolo successivo. Le varie tipologie di microfoni illustrati, l’ottico non viene discusso, presentano proprietà e caratteristiche differenti che saranno confrontate nel terzo capitolo.
Leggi tuttoFonte: Tesi di Laurea, Università degli Studi di Padova, Anno Accademico 2012-2013
Parole chiave: Elettronica, Sensoristica
